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http://cicese.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1007/1005| Fabricación de nano-dispositivos electrónicos sobre un nanotubo de carbono asistido por el SEM/FIB y su caracterización eléctrica Fabrication of nano-electronic devices on a carbon nanotube assisted by the SEM / FIB and electrical characterization. | |
| José Carlos Gómez Mancilla | |
| José Manuel Romo Herrera | |
| Acceso Abierto | |
| Atribución | |
| Nanodispositivos | |
| El presente trabajo de tesis propone el depósito de nanodispositivos electrónicos (punto de platino) sobre nanotubos de carbono individuales para estudiar la posible función que esto pudieran desempeñar sobre el flujo electrónico que viaja a través del nanotubo de carbono multipared (MWCNT). Para hacer posible la conexión de este tipo de nanoestructuras con el mundo macroscópico, es necesario manipular y aislar un solo MWCNT, soldándolo sobre cuatro microcontactos eléctricos de aluminio obtenidos por un proceso de fotolitografía ultravioleta y litografía por haz de iones focalizado (FIB). Realizando así las conexiones eléctricas necesarias que haga posible la caracterización del nanodispositivo creado sobre el MWCNT. Este proceso es posible utilizando un microscopio de haz dual (JIB-4500 Multi HAZ FIB-SEM), equipado con un micromanipulador y un sistema inyector de gases. La obtención del nanodispositivo se realizó depositando un punto de platino de dimensiones nanométricas sobre el MWCNT, para lo cual se utilizó el deposito inducido por haz de iones empleando el FIB y su sistema inyector de gases. Así pues se caracterizó eléctricamente el montaje del MWCNT individual con y sin presencia del nanodispositivo para buscar elucidar la función que desempeña su presencia. Se logró concluir que la presencia del nanodispositivo de platino funge como un reductor de la resistencia eléctrica del nanotubo de carbono. Adicionalmente se determinaron los posibles daños que pudieran causar la exposición del montaje a una dosis elevada de iones de galio debido a la utilización del FIB. This thesis proposes the deposit of electronic nanodevices (platinum point) on individual carbon nanotubes to study the possible role it could play on the electronic flow traveling through the multiwall carbon nanotube (MWCNT). To enable the connection of such nanostructures with the macroscopic world, we need to manipulate and isolate one single MWCNT. This MWCNT can be welded in four electric microcontacts of aluminum obtained by ultaviolet photolithography and focused ion beam lithography process. Therefore making the necessary electric connections to allow for the characterization of the nanodevice deposited on the MWCNT. This process is possible using a dual-beam microscope (JIB4500 Multi MAKE FIB-SEM) equipped with a micromanipulator and gas injector system. The nanodevices was obtained by the deposit of nanometric dimensions platinum dots on MWCNT, to make this deposit we use the ion beam induced deposition assisted with the FIB and the gas injector system. Then it was performed the electric characterization of the carbon nanotube with and without the presence of the nanodevice to elucidate the role played by its presence. It is concluded that the presence of the platinum nanodevice acts as an electrical resistance reductor of the carbon nanotube. Additionally, the potential damage caused to the assembly due to its exposure to high doses of gallium ions due to the use of FIB was determined. | |
| CICESE | |
| 2015 | |
| Tesis de maestría | |
| Español | |
| Gómez Mancilla, J.C.2015.Fabricación de nano-dispositivos electrónicos sobre un nanotubo de carbono asistido por el SEM/FIB y su caracterización eléctrica.Tesis de Maestría en Ciencias. Centro de Investigación Científica y de Educación Superior de Ensenada, Baja California.65 pp. | |
| OTRAS ESPECIALIDADES FÍSICAS | |
| Aparece en las colecciones: | Tesis - Física de Materiales |
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