Por favor, use este identificador para citar o enlazar este ítem:
http://cicese.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1007/1012| Estudio de las propiedades mecánicas de recubrimientos duros de apilamientos de TaNx/TaCx depositados por pulverización catódica reactiva Study of mechanical properties of hard coatings of multilayers of TaNx/TaCx deposited by reactive sputtering | |
| Karla Paola Valdez Núñez | |
| Wencel José De La Cruz Hernández | |
| Acceso Abierto | |
| Atribución | |
| Nitruro de tantalio | |
| En este trabajo se sintetizaron recubrimientos de TaNx, TaCx y de apilamientos de bicapas de TaNx/TaCx, mediante la técnica de pulverización católica reactiva. Los recubrimientos fueron caracterizados por espectroscopía de electrones Auger, difracción de rayos X, microscopia electrónica de transmisión y nanoindentación. En los recubrimientos de TaNx el contenido máximo de nitrógeno fue de 1.34 cuando la muestra fue sintetizada a temperatura ambiente, mientras que al sintetizar a 500 °C el contenido de nitrógeno en la muestra disminuyó a 0.53. En las muestras de TaCx, el máximo contenido de carbono fue de 1.26 al sintetizar a temperatura ambiente, al incrementar la temperatura del sustrato a 500 °C, el contenido de carbono disminuyó a 0.56. Los valores más altos obtenidos en este trabajo para la dureza y módulo elástico reducido para TaNx fueron de 38.0 GPa y 390 GPa, respectivamente, mientras que para el TaCx los valores más alto fueron 30.0 GPa y 260 GPa, respectivamente. Cuando estos materiales se utilizaron para sintetizar apilamientos de bicapas (TaNx/TaCx) se encontraron valores de dureza y módulo elástico reducido de 45.7 GPa y 477 Gpa, respectivamente, los cuales son mucho mayores que los valores obtenidos para los recubrimientos fabricados de una sola capa. In this work were synthetized coatings of TaNx and TaCx and of multilayers of bilayers of TaNx,/TaCx by sputtering. The coatings were characterized by Auger electron spectroscopy, X-ray diffraction, transmission electron microscopy and nanoindentation. In the coatings of TaNx, the maximum nitrogen content was 1.34 when the sample was synthetized to room temperature, while for the sample synthetized at 500 °C the nitrogen content was 0.53. In the samples of TaCx, the maximum carbon content was 1.26 for the sample was synthetized at room temperature. When the temperature was increasing upto 500 °C, the carbon content decreased to 0.56. The highest values of hardness and elasticity reduced elastic modulus of TaNx were of 38.0 GPa and 390 GPa, respectively, whereas that for TaCx the highest values were 30 GPa and 260 GPa, respectively. When this materials were utilized for synthetizing multilayers of bilayers (TaNx/TaCx), values of hardness and reduced elastic modulus of 45.7 GPa and 477 Gpa, respectively, were obtained, which are much higher than the values obtained for the coatings made of a single layer. | |
| CICESE | |
| 2016 | |
| Tesis de doctorado | |
| Español | |
| Valdez Núñez, K.P.2016.Estudio de las propiedades mecánicas de recubrimientos duros de apilamientos de TaNx/TaCx depositados por pulverización catódica reactiva.Tesis de Doctorado en Ciencias. Centro de Investigación Científica y de Educación Superior de Ensenada, Baja California.92 pp. | |
| OTRAS ESPECIALIDADES FÍSICAS | |
| Aparece en las colecciones: | Tesis - Física de Materiales |
Cargar archivos:
| Fichero | Descripción | Tamaño | Formato | |
|---|---|---|---|---|
| 244561.pdf | Versión completa de la tesis | 1.86 MB | Adobe PDF | Visualizar/Abrir |