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http://cicese.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1007/203| Elipsómetro para el análisis in situ de depósitos de películas delgadas Ellipsometer for in-situ analysis of thin film deposition | |
| Pedro Casillas Figueroa | |
| Roberto Machorro Mejía Moisés Castro Delgado | |
| Acceso Abierto | |
| Atribución | |
| Imagenología,banda ancha,amplificador balanceado | |
| Se desarrolló un elipsómetro fotométrico y espectroscópico de analizador rotatoriopara el análisis in-situ y la caracterización de las propiedades ópticas y físicas depelículas delgadas. Este proyecto se emprendió con el objetivo de ofrecer unaalternativa versátil a los elipsómetros comerciales, los cuales tienen un alto costo,además de que no permiten hacer modificaciones o adaptaciones de acuerdo alas necesidades particulares del usuario.Este instrumento se construyó con una estructura modular en la cual suscomponentes no están dedicados ni fueron adquiridos exclusivamente para estaaplicación, sino que se emplean elementos comerciales de uso general dentro delas actividades de un laboratorio de óptica. Como resultado, se obtuvo uninstrumento flexible y relativamente barato capaz de extraer información suficienteen el intervalo de longitudes de onda de 370—820 nm para estudiar propiedadesópticas y físicas de superficies y de películas delgadas. A photometric spectroscopic rotating analyzer ellipsometer was developed for insituanalysis and characterization of the optical and physical properties of thinfilms. The goal of this project is to offer a versatile alternative to commercialellipsometers, which are very expensive and does not allow any modificationsaccording to user’s particular needs.This instrument was built in a modular structure where its components are notexclusively dedicated and were not exclusively bought for this application, but theyare commercial elements commonly used in an optics laboratory As a result wehave a flexible and relatively economic instrument capable for extracting enoughinformation in the wavelength range of 370—820 nm to study optical properties ofsurfaces and thin films. | |
| CICESE | |
| 2010 | |
| Tesis de maestría | |
| Español | |
| Casillas Figueroa,P.2010. Elipsómetro para el análisis in situ de depósitos de películas delgadas. Tesis de Maestría en Ciencias. Centro de Investigación Científica y de Educación Superior de Ensenada, Baja California. 113 pp. | |
| TECNOLOGÍA DE LAS TELECOMUNICACIONES | |
| Aparece en las colecciones: | Tesis - Electrónica y Telecomunicaciones |
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| Fichero | Descripción | Tamaño | Formato | |
|---|---|---|---|---|
| 184941.pdf | Versión completa de la tesis | 2.12 MB | Adobe PDF | Visualizar/Abrir |