Por favor, use este identificador para citar o enlazar este ítem:
http://cicese.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1007/204| Control de las propiedades ópticas en el depósito de películas delgadas Optics properties control in thin ?lm deposition | |
| Víctor Julián García Gradilla | |
| Enrique Mitrani Abenchuchan Roberto Machorro Mejía | |
| Acceso Abierto | |
| Atribución | |
| Control robusto,Sistemas discontinuos,Observador discontinuo | |
| Se presenta el desarrollo de un sistema de control para el depósito de películas delgadas por la técnica de erosión iónica reactiva. Controlando la concentración óxido de zirconio, se realizaron depósitos de películas con composición variable. Para esto se desarrolló un modelo que relaciona la oxidación del blanco de zirconio con el voltaje de descarga del magnetrón y la presión durante el depósito. La estimación de la concentración de óxido de zirconio en la película depositada, se obtiene a partir de un observador de estados, el cual se basa en el modelo de depósito y las variables medibles del sistema. El control se realiza variando el ?ujo de entrada de gas reactivo y realimentando la composición de la película, utilizado un controlador por ubicación de polos a partir de la linealización del modelo desarrollado. A control system development for deposition of thin ?lms by reactive sputtering is presented. Zirconium oxide thin ?lms were deposited controlling their composition. To this end, a new model relating zirconium target oxidation with the magnetron discharge voltage and the pressure of the deposition chamber was developed. Zirconium oxide concentration in the thin ?lm was estimated with a state observer by means of the Berg etal.depositionmodelandthemeasuredvariablesofthesystem.Thedepositioncontrol was achieved varying the reactive gas input ?ow using a pole placement controller on the system’s linearized model. | |
| CICESE | |
| 2010 | |
| Tesis de doctorado | |
| Español | |
| García Gradilla,V.J. 2010. Control de las propiedades ópticas en el depósito de películas delgadas. Tesis de Doctorado en Ciencias. Centro de Investigación Científica y de Educación Superior de Ensenada, Baja California. 116 pp. | |
| TECNOLOGÍA ELECTRÓNICA | |
| Aparece en las colecciones: | Tesis - Electrónica y Telecomunicaciones |
Cargar archivos:
| Fichero | Descripción | Tamaño | Formato | |
|---|---|---|---|---|
| 183301.pdf | Versión completa de la tesis | 2.09 MB | Adobe PDF | Visualizar/Abrir |