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http://cicese.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1007/2651| La pluma en ablación láser. Propiedades físicas del plasma. | |
| Eduardo Gerardo Pérez Tijerina | |
| Roberto Machorro Mejia | |
| Acceso Abierto | |
| Atribución | |
| Ablación láser, Espectroscopía del plasma | |
| La calidad de una película delgada depende fuertemente de las condiciones en las que fue crecida. A partir de la introducción de depósito de capas delgadas por métodos de ablación de un blanco, se ha extendido esta técnica de preparación, a pesar de lo poco que se entiende del proceso físico involucrado. Han sido reportados varios intentos, parciales todos, para evaluar las condiciones del depósito y correlacionarlas con las propiedades de la capa ya terminada. En el CCMC hay instalado un sistema de crecimiento de películas delgadas usando ablación de un láser de excímero. Tienen, para el seguimiento del crecimiento, un elipsómetro y un espectrómetro REEHD. Para el análisis de las capas ya terminadas cuentas con espectroscopias electrónicas Auger y XPS, así como el mismo elipsómetro espectral. Esto es, se tienen los dos extremos de la solución experimental, el inicio y el final. Si deseamos controlar al detalle la manera en que crecen las capas, debemos manipular adecuadamente el plasma asociado al proceso de evaporación. Esto puede hacerse con espectroscopias ópticas. Esto no es algo nuevo, sin embargo el trabajo realizado hasta ahora se ha hecho de manera puntual, lo cual restringe la capacidad de estudio. Nuestra intención es analizar de manera simultánea la pluma bidimensionalmente y no punto a punto. Para ello debemos contar con las herramientas teóricas y experimentales que permitan relacionar las características del plasma con las propiedades de la capa terminada. Como un primer paso en esa dirección, presentamos nuevas herramientas que sirven para el análisis del plasma producido por ablación laser, dentro de una cámara de vicio o bajo atmosfera de gases de fondo. Los cálculos están basados en el modelo de equilibrio estadístico, de cocientes de intensidad de líneas espectrales y su relación con la densidad y temperatura electrónica, que son de gran utilidad en el diagnóstico del plasma. Con todo y que es una extensión de técnicas empleadas en astrofísica, donde las densidades y temperaturas son diferentes, las hemos validado para las condiciones típicas de una cámara de vacía, similar a la empleada en nuestro laboratorio. Una segunda etapa es la de aplicar este modelo al estudio de imágenes espectrales, y así obtener la evolución del plasma y conocer mejor su repercusión sobre las propiedades de la película. | |
| CICESE | |
| 2000 | |
| Tesis de maestría | |
| Español | |
| Pérez Tijerina, Eduardo Gerardo.2000.La pluma en ablación láser. Propiedades físicas del plasma..Tesis de Maestría en Ciencias. Centro de Investigación Científica y de Educación Superior de Ensenada, Baja California.54 h.. | |
| OTRAS ESPECIALIDADES FÍSICAS | |
| Aparece en las colecciones: | Tesis - Física de Materiales |
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