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http://cicese.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1007/2665| Supervisión del crecimiento de capas inhomogéneas y del gas de fondo en ablación láser Inhomogeneous film growth and ambient gas supervision in laser ablation | |
| Víctor Julián García Gradilla | |
| Enrique Mitrani Abenchuchan | |
| Acceso Abierto | |
| Atribución | |
| Sincronización, Redes, Control discontinuo, Observador discontinuo | |
| La ablación láser, comúnmente conocida como PLD por sus siglas en inglés “pulsed laser deposition”, es una técnica empleada en el crecimiento de películas delgadas en presencia de gas de fondo. En este trabajo se presentan el estudio, adaptación y modelado de la cámara de depósito del CCMC-UNAM. Incluye el desarrollo de la instrumentación electrónica para un sistema de supervisión y control que contempla el disparo del láser sobre un blanco de Si3N4, el control de las presiones parciales de dos gases de fondo (O2 y N2) así como, con el auxilio de técnicas elipsométricas, la medición de las características físicas de la capa depositada sobre un sustrato de silicio. Adicionalmente, se presentan y analizan los resultados de algunos depósitos realizados mediante este sistema que muestran su utilidad y repetibilidad. | |
| CICESE | |
| 2003 | |
| Tesis de maestría | |
| Español | |
| García Gradilla, V.J.2003.Supervisión del crecimiento de capas inhomogéneas y del gas de fondo en ablación láser. Tesis de Maestría en Ciencias. Centro de Investigación Científica y de Educación Superior de Ensenada, Baja California.88 pp. | |
| TECNOLOGÍA DE LAS TELECOMUNICACIONES | |
| Aparece en las colecciones: | Tesis - Electrónica y Telecomunicaciones |
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