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http://cicese.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1007/2852| Cuantificación de hidrógeno en A-Si:H mediante la espectroscopía Auger excitada con Ar+ | |
| Gustavo Alonso Hirata Flores | |
| Mario Humberto Farias Sanchez | |
| Acceso Abierto | |
| Atribución | |
| Efecto Auger, Espectroscopia, Hidrógeno | |
| La espectroscopía de Electrones Auger Inducida con Iones de Gases Nobles (IAES) es una técnica para el análisis de superficies, que se ha empezado a utilizar en la última década. En la mayoría de los trabajos reportados hasta ahora acerca de esta nueva espectroscopía, se describen aspectos experimentales que explican la información que se obtiene de los espectros Auger inducidos con iones. En este trabajo se analiza la relación PA/PS de los picos atómico (PA) y del solido (PS) en espectros IAES, como función del contenido de hidrogeno en diversas películas de silicio amorfo hidrogenado (a-Si:H). Las películas fueron crecidas mediante la técnica de Desintegración Catódica Reactiva (Reactive Cathode Sputtering) en una atmosfera de Ar-H2 variando la presión de hidrogeno (PH). Se analizan también mediante IAES muestras de silio cristalino (110) y silicio cristalino (100) implantado con iones de silicio. Los resultados obtenidos muestran notables variaciones en PA/PS para las películas con concentraciones de hidrogeno en el intervalo 8-20% atómico, que son las concentraciones utilizadas en la construcción de dispositivos tecnológicos. Se presentan gráficas de la relación PA/PS como función de la presión parcial de hidrógeno que se utilizó durante el crecimiento de las películas. Dichas graficas exhiben un comportamiento exponencial parecido al que se obtiene por espectroscopía infra-roja para películas crecidas con la misma técnica. Finalmente se muestran dos graficas de PA/PS como función de la concentración de hidrogeno en las películas, exhibiendo un comportamiento lineal con una incertidumbre de aproximadamente 2% atómico. Podemos conlcuir que la Espectroscopía Inducida con Iones de AR+, es hasta ahora una técnica semicuantitativa sensible a la superficie de sólidos y con mejor resolución laterial y en profundidad que otras comúnmente utilizadas. N/E | |
| CICESE | |
| 1988 | |
| Tesis de maestría | |
| Español | |
| Hirata Flores, G. A. 1988.Cuantificación de hidrógeno en A-Si:H mediante la espectroscopía Auger excitada con Ar+. Tesis de Maestría en Ciencias. Centro de Investigación Científica y de Educación Superior de Ensenada, Baja California. 56 pp. | |
| OTRAS ESPECIALIDADES FÍSICAS | |
| Aparece en las colecciones: | Tesis - Física de Materiales |
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