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http://cicese.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1007/3274| Diseño e implementación de un sistema de análisis de películas delgadas en frecuencias de microondas usando microscopio de fuerza atómica y analizador de redes vectorial Design and implementation of a microwave system for thin-film analysis using atomic-force microscope and vector-network analyzer | |
| ULISES AUGUSTO PONT DE LA TORRE | |
| Humberto Lobato Morales EDUARDO ANTONIO MURILLO BRACAMONTES | |
| Acceso Abierto | |
| Atribución | |
| RF, microondas, permitividad, microscopio de fuerza atómica, películas delgadas RF, microwave, permittivity, atomic force microscopy, thin films. | |
| En este reporte de tesis se presenta la implementación de un sistema de microscopía de microondas utilizando un Microscopio de Fuerza Atómica (AFM por sus siglas en inglés) y un Analizador de Redes Vectorial (VNA por sus siglas en inglés). Se diseñaron y fabricaron sondas resonantes y no resonantes que terminan en una punta conductiva, y que operan a frecuencias que van desde 500 MHz hasta 6 GHz utilizando únicamente las pérdidas por reflexión. El sistema propuesto muestra la capacidad de determinar cambios en las propiedades de muestras de películas delgadas a escala nanométrica, tales como altura del dieléctrico, altura de las capas conductivas, y permitividad dieléctrica de la capa aislante. Se presentan los resultados simulados y medidos experimentalmente de las pruebas resonante y no resonante, y son comparados y discutidos. The implementation of a Microwave Microscopy (MM) system using an Atomic-Force Microscope (AFM) and a Vector Network Analyzer (VNA) is presented in this thesis report. Resonant and non-resonant probes are designed and fabricated to operate at frequencies from 500 MHz to 6 GHz using reflection losses data only and are integrated into the AFM. A conductive tip is configured at the end of the probes for the measurements. The proposed system shows the capability to determine changes in thin-films properties, such as height of dielectric, height of conductors in the nanometer scale, and dielectric permittivity of insulator layers. Both methods, resonant and non-resonant, are compared and discussed. | |
| CICESE | |
| 2020 | |
| Tesis de maestría | |
| Español | |
| Pont de la Torre, U.A. 2020. Diseño e implementación de un sistema de análisis de películas delgadas en frecuencias de microondas usando microscopio de fuerza atómica y analizador de redes vectorial. Tesis de Maestría en Ciencias. Centro de Investigación Científica y de Educación Superior de Ensenada, Baja California. 60 pp. | |
| OTRAS | |
| Aparece en las colecciones: | Tesis - Electrónica y Telecomunicaciones |
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| Fichero | Descripción | Tamaño | Formato | |
|---|---|---|---|---|
| Tesis_Ulises Augusto Pont de la Torre_09_junio_2020.pdf | Versión completa de la tesis | 5.05 MB | Adobe PDF | Visualizar/Abrir |