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http://cicese.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1007/3896| Análisis y control de películas delgadas con índice de refracción variable sintetizadas por pulverización catódica reactiva Analysis and control of thin films with variable refractive index synthesized by reactive sputtering | |
| RAMON RODRIGUEZ LOPEZ | |
| NOEMI ABUNDIZ CISNEROS ROBERTO SANGINES DE CASTRO | |
| Acceso Abierto | |
| Atribución | |
| pulverización catódica reactiva, espectroscopía óptica de emisión, filtros inhomogéneos, espectroscopía elipsométrica reactive sputtering, optical emission spectroscopy, inhomogeneous filters, spectroscopic ellipsometry | |
| Este trabajo se centra en el análisis, diseño y síntesis de filtros ópticos inhomogéneos sintetizados por la técnica de pulverización catódica reactiva. Estos filtros comúnmente se caracterizan estructuralmente por una variación gradual del índice de refracción en la dirección de crecimiento del filtro. Su fabricación requiere un alto grado de control durante el proceso de síntesis, debido a que el perfil de índice de refracción, en ocasiones, puede ser complejo. Un sistema de monitorización y retroalimentación adecuado permite incrementar la reproducibilidad y mejorar la respuesta espectral de estos filtros. El presente estudio se basa en la caracterización de un sistema de pulverización catódica reactiva mediante espectroscopia de emisión óptica (OES) asistida por elipsometría espectroscópica. La técnica de OES utiliza las líneas espectrales del plasma para correlacionarlas con las propiedades de las películas sintetizadas (índice de refracción y tasa de depósito), y la evolución del proceso de erosión bajo diferentes condiciones experimentales, tales como: potencia, presión de operación, distancia blanco-sustrato y relación de flujo de gases. Dentro de este trabajo, se demuestra la posibilidad de utilizar OES para monitorizar el índice de refracción de películas inhomogéneas, como una técnica alternativa, versátil y con la sensibilidad suficiente para seguir el proceso de fabricación in situ. This work focuses on the analysis, synthesis and design of inhomogeneous optical filters synthesized by the reactive sputtering technique. These filters are often structurally characterized by gradual refractive index variation along the thickness direction. Since the refractive index profile can sometimes be complex, their fabrication requires a high degree of control during the synthesis process. The reproducibility and spectral response of these filters is improved by an appropriate monitoring and feedback system. The present study is based on the characterization of a reactive sputtering system using optical emission spectroscopy (OES) assisted by spectroscopic ellipsometry. The OES technique uses the plasma spectral emission lines to correlate them with the synthesized thin film properties (refractive index and deposition rate), and the sputtering process evolution under different experimental conditions, such as discharge power, working pressure, target-substrate distance, and gas flow ratio. Throughout this work it is demonstrated the possibility of using OES to monitor the refractive index of inhomogeneous films as an alternative, versatile technique with sufficient sensitivity to follow the manufacturing process in situ. | |
| CICESE | |
| 2023 | |
| Tesis de doctorado | |
| Español | |
| Rodríguez López, R. 2023. Análisis y control de películas delgadas con índice de refracción variable sintetizadas por pulverización catódica reactiva. Tesis de Doctorado en Ciencias. Centro de Investigación Científica y de Educación Superior de Ensenada, Baja California. 120 pp. | |
| PROPIEDADES DE LOS MATERIALES | |
| Aparece en las colecciones: | Tesis - Nanociencias |
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| tesis_Ramón Rodríguez López_19 junio 2023.pdf | Versión completa de la tesis | 4.43 MB | Adobe PDF | Visualizar/Abrir |