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http://cicese.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1007/4323| Estudio de películas de TaOx crecidas por pulverización catódica reactiva sometidas a un tratamiento térmico posterior Study of TaOx films grown by reactive sputtering and post annealing | |
| Aristóteles Bertoni Álvarez | |
| Jesús Antonio Díaz Hernández | |
| Acceso Abierto | |
| Atribución | |
| Estados de oxidación, tántalo, pulverización catódica reactiva, tratamiento térmico Oxidation states, tantalum, reactive sputtering, annealing | |
| Se sintetizaron películas de óxidos de tántalo mediante pulverización catódica reactiva, con un posterior tratamiento térmico (TTP). Su caracterización por difracción de rayos X (XRD) y Espectroscopía por fotoelectrones de rayos X(XPS) reveló que, con bajo flujo de oxígeno, se formaron fases metálicas cristalinas (α-Ta y β-Ta). Estas estructuras persistieron tras el TTP, apareciendo adicionalmente óxidos cristalinos: TaO hexagonal y Ta2O cúbico. Los análisis por XPS mostraron que, antes del TTP, las películas (designadas TaOx) eran predominantemente óxidos, mientras que tras el tratamiento (ahora TaCxOy) presentaron alta concentración de carbono. Se identificaron estados de oxidación del Ta (+1, +2, +4, +5), asociados a diversos óxidos y carburos, junto con defectos estructurales como carbonos y oxígenos intersticiales/sustitucionales. Tantalum oxide films were synthesized via reactive sputtering, followed by a subsequent thermal treatment (TTP). Characterization by X-Ray diffraction (XRD) and X-Ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) revealed that at low oxygen flow rates, crystalline metallic phases (α-Ta and β-Ta) formed. These structures persisted after TTP, with additional crystalline oxides appearing hexagonal TaO and cubic Ta2O. XPS analyses showed that before TTP, the films (designated TaOx) were predominantly oxides, whereas after treatment (now labeled TaCxOy) they exhibited a high carbon concentration. Oxidation states of Ta (+1, +2, +4, +5) were identified, associated with various oxides and carbides, along with structural defects such as interstitial/substitutional carbon and oxygen atoms. | |
| CICESE | |
| 2025 | |
| Tesis de maestría | |
| Español | |
| Bertoni Álvarez, A. 2025. Estudio de películas de TaOx crecidas por pulverización catódica reactiva sometidas a un tratamiento térmico posterior. Tesis de Maestría en Ciencias. Centro de Investigación Científica y de Educación Superior de Ensenada, Baja California. 49 pp. | |
| PROPIEDADES DE LOS MATERIALES | |
| Aparece en las colecciones: | Tesis - Nanociencias |
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| Fichero | Descripción | Tamaño | Formato | |
|---|---|---|---|---|
| tesis_Jesús Antonio Navarrete López_2025.pdf | Descripción de la tesis | 11.59 MB | Adobe PDF | Visualizar/Abrir |