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http://cicese.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1007/560
Estudio de guías de onda ópticas de índice escalón obtenidas por multi-implantación de iones de plata Study of step index optical waveguides obtained by silver ion multi-implantation | |
Cesáreo Ramírez Espinoza | |
Heriberto Márquez Becerra | |
Acceso Abierto | |
Atribución | |
Multi-implantación,Iones de plata,Indice escalón,Guías de onda ópticas,Multi-implantation,Silver ion,Step index,optical waveguides | |
En este trabajo se presenta un estudio teórico y experimental de guías de onda ópticas planas con un perfil de índice escalón obtenidas mediante implantación de iones de plata en sustratos de cuarzo fundido. El estudio comprende el diseño, fabricación y caracterización de las guías de onda. En el diseño y fabricación se desarrolló un proceso de multi-implantación de iones para obtener guías de onda con perfil escalonado. El perfil de implantación de iones de Ag, en una matriz de SiO2, fue obtenido por implantaciones secuenciales a diferentes energías de implantación en un rango de 4.3 MeV a 9 MeV y dosis de ~1014 a ~1015 iones/cm2. El proceso de caracterización de las guías de onda comprende el análisis de : espesor, espectro de absorción, pérdidas de propagación, modos de propagación, topografía y compactación. Asimismo, se presenta el perfil de índice de refracción de guías de onda tipo escalón en función de la composición química, compactación y esfuerzo. In this work, a theoretical and experimental study of planar optical waveguides with step-index profile obtained by silver ion implantation in fused silica substrate is presented. The study comprised the design, the fabrication and the characterization of optical waveguides. The design and manufacturing process is shown employing a sequential multiple ion implantation process to obtain optical waveguide with step index profile. Silver ion implantation process, in SiO2 matrix, was obtained with energies of implantation from 4.3 MeV to 9 MeV and doses of ~1014 to ~1015 ions/cm2. Measurements of dimensions, absorption spectrum, propagation losses, intensity distribution, and effective refractive indices of the propagation modes of the waveguides are presented. Moreover, an approach of refractive index profile of the waveguides was adjusted considering chemical composition, compactation and stress. | |
CICESE | |
2014 | |
Tesis de maestría | |
Español | |
Ramírez Espinoza, C.2014.Estudio de guías de onda ópticas de índice escalón obtenidas por multi-implantación de iones de plata.Tesis de Maestría en Ciencias. Centro de Investigación Científica y de Educación Superior de Ensenada, Baja California. 118 pp | |
ÓPTICA | |
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