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Estudio de guías de onda angostas por multi-implantación de iones de plata
Study of optical channel waveguides by silver ion multi-implantation
Helena De Los Reyes Cruz
Heriberto Márquez Becerra
Acceso Abierto
Atribución
Óptica
En este trabajo se presenta el estudio de guías de onda de canal por multi-implantación de iones de plata con perfil de índice tipo escalón en sustratos de SiO2. El estudio comprende el diseño, fabricación y caracterización de guías de onda rectas, curvas-S y curvas-C. La etapa de diseño, está basada en un algoritmo del método de propagación de haz para circuitos de óptica integrada, BeamProp-Rsoft, y se consideró: guías de onda monomodo, con alto confinamiento óptico y  pérdidas por propagación bajas, para longitudes de onda en el visible 633nm y para las líneas de comunicaciones ópticas de  1550nm. La fabricación de las guías de onda con un perfil de índice escalón fue realizada mediante el proceso de multi-implantación de iones de plata en sustratos de SiO2. Finalmente la caracterización de las guías de onda comprendió inspección por microscopía óptica, metrología dimensional, análisis de pérdidas de propagación y análisis de distribución de intensidad de los modos de propagación para longitudes de onda de 1310nm y 1550nm.
In this work, a study of optical step-index channel waveguides by silver ion multiimplantation in SiO2 is presented. The study includes the design, fabrication, and characterization of optical channel waveguides, straight, S-bends, and C-bends. The design part, based on computational analysis by beam propagation method (BPM), consider single mode optical waveguides, high optical confinement and low propagation losses for wavelengths 633nm, and 1550nm, respectively. For the fabrication process, we use silver ion multi-implantation in SiO2 substrates to obtain step index profile. The characterization of the channel waveguides include inspection of defects by optical microscopy, measurements of size of cross section of waveguides, analysis of  propagation losses, and measurements of  mode field diameter of propagation modes for wavelengths 1310nm and 1550nm.
CICESE
2016
Tesis de maestría
Español
De Los Reyes Cruz,H.2016.Estudio de guías de onda angostas por multi-implantación de iones de plata.Tesis de Maestría en Ciencias. Centro de Investigación Científica y de Educación Superior de Ensenada, Baja California.75 pp.
ÓPTICA
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